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NewWay气浮轴承产品&行业应用-介绍

发布日期:2024-6-13

相信关注我们产品的广大用户朋友们有了解,NewWay气浮轴承系列(无摩擦运动解决方案)作为替换传统接触式轴承的一大技术创新方向,其已在国内众多高精密要求的行业中起到核心作用。如半导体、光学、计量&检测、显示面板精密数控机床等行业当中,都可以看到多孔介质气浮技术成功应用的影子。据此,本文将列举三款NewWay气浮轴承产品在一些行业上的技术应用介绍,以让更多行业得到前所未有的技术优势。


1.NewWay方形平板气浮轴承

作为与圆形平板气浮轴承同期推出的经典产品之一,方形平板系列同样广受多个行业的青睐。这得益于我们的基础多孔介质气浮轴承技术TM,使轴承在仅有5微米厚的气膜上穿过导向表面,以实现真正的无摩擦运动。产品优势方面,整个运动过程通过气体来润滑、多孔碳的天然渗透性保证了更加均匀的气浮层形成,以及多孔介质TM特性(数百万个亚微米级别小孔)使气浮缓慢流动而不会因气流量/压力变化而产生破坏性的问题,这是传统接触及孔板小孔轴承所无法达到的技术水准。

由于轴承本身是没有摩擦的,因此允许在高速及高加速度状态下运行。并在这一前提下,使得超高的分辨率在精密系统下成为可能,且没有滞后误差。此外,整个系列非常适合高负载的应用,在借助万向接头的底座可最大限度地增加导轨的承载表面当轴承安装在球座上后,可轴承和导向面之间形成可自调平界面。

基于以上特性,使得方形平板气浮轴承成为半导体制造设备(如涂胶、显影)、汽车检测装置(加速性能、车身完整性、碰撞测试)、三坐标测量CMM机器3D打印机中的XY龙门配置的理想选择。

       

DSM公司用于检测人类视觉前庭敏锐度的装置                             50mm*100mm应用于三坐标测量



2.NewWay气浮导轨

气浮导轨作为轴承产品的延伸,可替代传统基于接触轴承的滑轨运动平台。整个产品线建立在我们基础的多孔介质气浮轴承技术TM之上,均采用我们的专利气浮技术来设计。全系可提供四种类型的标准品可选,以满足不同场景下的应用需求,且也能与用户一道来定制解决方案。

另一独特优势在于,可将多孔介质™滑轨与导轨相结合,并运用真空将载物台固定在导轨表面,以消除振动和谐波噪音。这一设计带来了卓越的稳定性、直线平整度和刚度,并使您的设备达到纳米级的运动精度。

具体应用上,对于像半导体制造(曝光设备)、显示面板检测、光学研磨、激光切割、锂电检测、精密数控加工中心等领域都有成功的应用案例。

       

H2H公司-用于检测编码器的气浮平台                      EFI公司-用于半导体行业的喷墨打印设备


3.NewWay气浮主轴

主轴系列是基于磁性、油性或轴承型主轴(运动旋转平台)解决方案而全新设计推出的一款无摩擦运动产品线。通过应用我们的多孔介质技术TM,使得转子和定子之间形成一个微薄的气膜,进而消除了次同步运动,并将异步误差降至好几个数量级。

“T系列主轴产品线备有55mm~375mm规格可选,包括配有圆形和方形定子配置,以供不同的应用场景。气浮主轴还可以与您选择的伺服电机/编码器配对使用,以进一步控制主轴的旋转速度/精度。或者,如果您需要完全集成的解决方案,我们还提供伺服驱动旋转平台,精度可达正负2.86

应用层面,非常适合用于各种高精密的检测平台、光学元器件的加工设备、科研机构用来计量测试等有待开发的无数精密领域。




                                 早期ROBEX公司-用于圆度检测设备


由此看来,在基于以上几款气浮轴承产品的介绍及应用案例分享中,不难看出对于像半导体、电子、精密加工、计量检测等这一类有着高精度要求画像的行业,我们NewWay多孔介质气浮技术TM无疑是当下对轴承的各新技术路径探索中可选的最佳解决方案之一。