真空预压气浮轴承

NEWWAY真空预压气浮轴承结合使用气压及真空，从导轨上浮起并同时吸附在导轨面上。可分别通过对真空及压力进行调节达到优化真空预压气浮轴承的浮动高度及刚性的效果。

带有柔性安装支架的真空预压气浮轴承

真空预压气浮轴承应用3-D模式（1）真空预压气浮轴承应用3-D模式（2）

真空预压气浮轴承

NEWWAY使气浮轴承的应用变得十分简单。柔性安装支架带来双向刚性，低支点，及对NEWWAY真空预压气浮轴承的极小的角度调整。

应用

晶圆定位

晶圆探测(高速)

圆凸点技术(高速)

自动光学检测

精确校对力的应用

成像景深调节

垂直度调节

精测试及修复

市场

半导体	光学
测试及测量	平板印刷