基于上篇NewWay气浮轴承在光伏&锂电、半导体设备上的应用及优势分享，想必这在不少用户朋友的脑海中对我们非接触式无摩擦运动方案留下了深刻的印象。此外，通过行业头部设备制造商们陆续装机测试与验证也进一步印证了前面提出的“当需要精密运动的地方，就能看得到气浮轴承应用的倒影”思考。

据此，下文将继续围绕其在精密运动平台、检测仪器&设备中的成熟应用案例展开叙述，重点介绍气浮轴承在精度上的优异表现。

1. 精密运动平台

顾名思义，每次谈及到精密运动平台的设计思路时，其往往离不开驱动&导向&控制系统的组合配置。除此之外，借助于气浮、编码器、光栅尺等技术的加持下，可使线性轴/旋转轴的重复定位精度达到亚微米至纳米级的高度。一些应用：1.为“惯性器件测试、运动控制算法验证”科研实验设计的绳驱机器人位控平台。2.电子&半导体行业中的面板制造、晶圆检测、各类材料切割等用到的多工位多轴平台。3.航空航天领域“飞行器姿态模拟、海洋环境仿真”搭建的六自由度摇摆台。4.激光加工与生物检测中应用的二维共面平台与医学纳米运动平台。

具体案例，像行业头部厂商雅科贝思旗下的多个系列均受益于我们气浮轴承的非接触式无摩擦运动特性。技术原理上，装有气浮轴承的平台使运动轴与运动部件之间通过微米级的气膜来完成整个精密运动的过程，再结合编码器等元件使装机后的定位精度、平面/直线度等指标来到亚微米级别。应用范围&型号：涵盖标准及定制精密平台（如涂布平台），圆形/方形平板气浮轴承、气浮轴套等。

2. 检测仪器&设备

诸如三坐标测量仪、H2W Technologies Air Bearing Systems、晶圆检测环节的光学AOI/自动化测试系统ATE，NewWay多孔介质气浮轴承技术在这些设备上都有着成熟的应用经验。三坐标测量仪方面，参照龙门架构设计的3D平台，在所有运动面的接触轴上装有圆形平板气浮轴承的设计下使测量的精准度达到亚微米至纳米级水平。H2H气浮轴承系统中，音圈制动器、无刷直线模组、多轴模组、直线步进模组的设计也均是依据气浮轴承技术来进行的，且精度同样为亚微米的级别。

光学检验AOI板块，当Simphotek公司需要为脉冲探针显微镜实验创建一个微米级精度的移动平台时，他们选择了NewWay Air Bushings来完成这项工作。此系统在半导体行业中举足轻重，这得益于其可通过时域热反射技术测定超薄材料的热导/导电性能。参照Disha Talreja博士论文中的论述：有效的精确测试设备对于开发更好的材料以用于“高发热装置，如固态激光器和集成电路中的芯片”是至关重要的。