NewWay®气浮输送导轨为无接触运输提供解决方案。 通过使用我们成熟的活性炭多孔技术™,基板(例如玻璃)可以通过极薄而稳定的气膜进行输送,而不会与气浮轨表面接触。 这项专利技术提供了传统或基于孔的设计无法达到的精确度。
NewWay®可以提供四种不同的气浮轨,并可以达到不同级别的精度控制,以满足客户的各种精度要求。
PA系列是我们最基本的气浮输送导轨,用气浮的方式来运送基板,从而确保非接触式运输。
T系列气浮输送导轨引入了真空来控制更平稳的运输,利用气浮轨上一条有真空孔的凹槽提供的负压和气压平衡从而达到更加平稳的运输。
H系列通过使用四个真空孔凹槽改进了T系列。 提供更出色的负压能力,在保持更高速的运作时时也能更平稳的完成运输。
精密级气浮输送导轨能将飞行高度的控制范围达到最高精确度,是检查和分析特定区域的理想选择。 该设计可确保整个精密区的真空压力和气隙相同。这种卓越的的稳定性可以使分析和检查精度达到更高。
四种气浮输送导轨都完成无接触式运输,因此非常适合玻璃、液晶面板及需要涂层的产品的运输,并且最大程度地减少了污染问题。 特殊的碳材质为运输提供更好的保障,即使在空气供应中断的情况下,多孔介质也允许空气缓慢扩散。 将其与碳纤维表面的柔软特征相结合,从而减少玻璃刮擦和损坏,提高产品质量。
气浮输送导轨中独特的多孔介质的用法使其非常适合用于洁净室。 与基于孔的空气轴承相比,不仅气浮导轨中使用的空气更少,而且空气通过多孔介质均匀分布。 这两个功能都将无尘室中的电流或涡流及其对生产的破坏性影响降至最低。
使用多孔介质的另一个好处是它可以用作排出空气的亚微米过滤器。 测试表明轴承满足1级(ISO 3级)清洁度的要求,空气中颗粒物的浓缩物限制为小于1,000 x0.1μm颗粒/ m3。